微機電系統 (MEMS) 技術

微機電系統( Micro-Electromechanical Systems，MEMS )、微加工、矽技術、微型感測器、微致動器、微機械加工

從這 4 小時的課程，你會學到

能夠了解微細加工技術與工藝
了解與無塵室環境相容的逐層微細加工
了解微機電系統（Micro-Electromechanical Systems，MEMS）
能夠使用學習到的微加工技術來生產基於 MEMS 的感測器和執行器

要求

基礎物理和化學

課程說明

本課程是關於微加工技術和微機電系統（Micro-Electromechanical Systems，MEMS）技術。基於 MEMS 的設備的應用遍布全球。大多數工業、汽車、生物醫學設備、家用電器、手機和穿戴式裝置中使用的感測器和執行器都是基於 MEMS 的。在過去的幾十年裡，基於 MEMS 的感測器和設備由於尺寸小、成本低、效率高和可靠性高而佔據了巨大的市場。此外，由於智慧和自主系統、物聯網 (IOT)、人工智慧 (AI) 和 AI-OT 等新興技術的出現，基於 MEMS 的感測器應用和使用更加廣泛且需求量很大。將討論基於矽(Si) 的技術，包括光刻製程、濕法和乾蝕刻技術的圖案轉移、掩模、表面微機械加工、體微機械加工、LIGA 和微成型以及SU-8 成型和電鍍、軟光刻技術。此外，也簡要闡述了生產這些 MEMS 感測器和執行器的無塵室以及無塵室的注意事項。

此外，課程還包括：自上而下和自下而上製造、多用戶MEMS製程、多晶MUMP、金屬MUMP、絕緣體上矽MUMP、低成本微加工技術、軟光刻技術、L-掩模製造編輯（光刻），微感測器、微執行器、微流體、功率 MEMS、晶片實驗室。

目標受眾

本課程介紹微細加工技術和微機電系統 (MEMS) 技術。大多數工業、汽車、生物醫學設備、家用電器、手機和穿戴式裝置中使用的感測器和執行器都是基於 MEMS 的。將討論基於矽(Si) 的技術，包括光刻製程、乾蝕刻技術的圖案轉移、掩模、表面微機械加工、體微機械加工、LIGA 和微成型以及SU-8 成型和電鍍、軟光刻技術
此外，課程還包括：自上而下和自下而上製造、多用戶MEMS製程、多晶MUMP、金屬MUMP、絕緣體上矽MUMP、低成本微加工技術、軟光刻技術、L-掩模製造編輯（光刻）、微感測器、微執行器、微流體、功率 MEMS、晶片實驗室

講師簡介

Prof Dr Farid Khan Udemy 講師

Farid Ullah Khan 博士是巴基斯坦一所工程大學的教授。 Farid Khan 教授博士於 2011 年在加拿大溫哥華不列顛哥倫比亞大學獲得機械工程博士學位。他在白沙瓦工程技術大學獲得了機械工程學士學位和機械工程設計碩士學位。 Farid Khan博士是一位傑出的學術專家和管理人員，他的專業領域是機械工程、多學科工程、能源、綠色能源、能源收集、再生能源、水力發電、機電一體化系統和機器健康監測。